现在，市场对能够适应恶劣环境的微机电系统（MEMS）的需求正在增长，但硅基MEMS在极端条件下工作困难，在高温下性能也受限。碳化硅（SiC）是一种很有发展前景的解决方案，能够为打造耐用型MEMS提供绝佳的热、电和机械性能。
加速度计原理图（图片来源：phys.org）
尽管SiC MEMS很有发展潜力，但其研发仍面临复杂体微加工工艺带来的挑战，因此需要采用创新策略以利用SiC在打造坚固设备方面的优势。为此，据外媒报道，科学家们采用新型碳化硅-碳纳米管（SiC-CNT）复合材料打造了一款加速度计，此种材料可以承受严重的环境压力。该项研究展示了一种变革性材料融合的结果，将SiC的耐久性与CNT的多功能性与导电性相结合。
该项研究将SiC的弹性与CNT的多功能性结合起来，研究团队的方法包括生长一个CNT阵列，并利用化学气相沉积法使非晶SiC致密化，打造一种具有优异机械强度、出色导电性以及高热稳定性的材料。
此种SiC-CNT复合材料可以打造出高纵横比的结构，这对于MEMS设备的灵敏度和效率至关重要，同时还可以确保其在极端温度和腐蚀环境下具有强健的性能。
首席研究员Sten Vollebregt教授表示：“该项研究的进展不仅克服了长期以来的制造挑战，还显著提升了MEMS设备的机械和电气性能。我们的SiC-CNT复合材料加速度计彻底改变了MEMS无法在传统设备无法使用的环境中部署的局面。”
研究人员们所打造的电容式加速度计展示了该复合材料在MEMS应用中的潜力，特别对于需要在高温、高辐射、高腐蚀环境中运行的设备而言。此类加速度计对于航天航空、汽车和工业监控等在极端条件下保证可靠性至关重要的系统而言十分重要。
